阻尼隔振光学平台生产厂家-卓立汉光-阻尼隔振光学平台

DVIM-T系列空气注入式隔振垫

技术指标：

? 震动隔离：气垫隔离

? 固有频率：（垂直/水平）1.5~2.0Hz

? 衰减方式：孔式空气阻尼

? Roll-off Rate[10Hz]: -32~-35dB

? 水平方式：由3个自动调平阀自动调平系统

? 水平复位精度：±0.05/±0.1

? 工作条件：4~6Kgf / cm2压缩空气或瓶装液氮

选型表：用途：

◆ x-y 布置系统 ◆精密测量仪 ◆坐标测量仪 ◆半导体制造检测设备 ◆裂变产物探测装备检查设备 ◆同位检测仪器 ◆精密检测设备

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阻尼

光学平台或面包板重要的特性为其共振频率。共振频率和振幅是负相关的，阻尼隔振光学平台生产厂家，因此共振频率应尽可能地*，从而将振动强度小化。平台和面包板会在一个特定的频率范围内发生振动。为了****性能，每种尺寸的平台和面包板的阻尼效果都需要进行优化。

平台阻尼需要进行各种测试，对其厚度/面积的比值进行优化。更大面积的平台(边长至少为10英尺或3米)具有厚度为12.2英寸(310毫米)的标准厚度，阻尼隔振光学平台厂家，这样可以****稳定性。对于更小面积的平台，阻尼隔振光学平台，厚度可以是8.3英寸(210毫米)或12.2英寸(310毫米)，也可定制更大尺寸。

DVID-C系列*平台

特点：

? 作为半导体FAB用，可在Class 1洁净的室内环境中使用。

? 所有材料均用不锈钢制作，可防腐蚀或退色问题

? 安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具

? 为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板

? 打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位

技术指标：

? 固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz

? 隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95%

at 20Hz : 85% ~ 98%

? 水平复位精度 : ±0.1㎜

? 静负载 : 500Kg

? 自重 : 150 ~ 250Kg

? 材料 : 支架及顶部：不锈钢顶盖：不锈钢

? 工作气源 : 3~5Kgf / cm2压缩空气或瓶装液氮

? 阻尼形式:孔式空气阻尼

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