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干式真空泵的应用主要有以下几个方面:低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,真空泵品牌,不希望微粒混入泵油中,真空泵公司,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要*****造成污染,适合用干式真空泵。用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以****油污染。



在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的****限压力。按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。真空泵通电试运转时,工业真空泵,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。



真空泵的特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,朝阳真空泵,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。




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