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随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,水环式真空泵,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。



干式真空泵的应用主要有以下几个方面:低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。除半导体工艺外某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要*****造成污染,适合用干式真空泵。用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以****油污染。



针对真空泵工作时有粉尘、酸性气体,真空泵长时间连续工作的工况,对真空泵的维护、*工艺有以下几点:

1、在真空泵的进气口加金属过滤网;

2、对于真空泵的维护、*,真空泵哪家好,采取两周为一个周期,清理油箱内的沉淀物,强制更换真空泵油,清理金属过滤网,检查、更换*损的阀片、弹簧的工作方法。

3、在真空泵油的选择要求上,真空泵价格,应选择饱合气压低的、运动粘度为100mm2/s的矿物油,该油具有价格低廉的特点(对于钛熔炼,选用合成真空泵油,经济上是不合算的);

4、在铸锭冷却期间或生产空闲时间,要求生产班组打开气镇阀,将泵气镇lh左右,将泵油中的水分尽可能排出泵外;通过勤换泵油,保持泵腔的洁净,保证泵油的合理粘度,白山真空泵,维持其密封性能,还能减少硬质颗粒对泵腔的划伤;

5、通过排除油内的水分,减少盐酸的生成,延缓盐酸对泵腔内构件的腐蚀。


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