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普旭真空泵使用要点

此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热,****l高可能达到70℃)。如确实需要接触,采取必要防护措施****受伤。

必须安装电机保护开关。

不要刮碰进气口与排气口法兰,以免损坏法兰口,导致真空度上不去。

在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低,普旭真空泵厂家,是因为排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度,要在真空室与泵之间安装截止阀。

排气口处要接排气管,以防灰尘进入泵内。



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普旭真空泵适用的工艺类型

干泵(包括螺杆泵、涡旋泵、和爪形泵)。适用于无油清洁的真空工艺过程,例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用,这几种泵都能直排大气。

吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。

钛泵(包括溅射离子泵、升华泵)。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。






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