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什么是金属靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等

金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。钨-钛(W-Ti)膜以及以钨-钛(W-Ti)为基的合金膜是高温合金膜,具有一系列*的优良性能。钨具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能,W/ Ti 合金具有低的电阻系数、良好的热稳定性能。如各种器件都需要起到导电作用的金属布线,例如Al 、Cu 和Ag 等已经被广泛的应用和研究。

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溅射靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

靶材的密度

为了减少陶瓷靶材中的气孔,****薄膜的性能,一般要求溅射陶瓷靶材具有高密度。通常,铬靶批发价格,靶材的密度不仅影响溅射时的沉积速率、溅射膜粒子的密度和放电现象等,还影响着溅射薄膜的电学和光学性能。靶材越密实,溅射膜粒子的空间分布浓度越低,铬靶批发,放电现象越弱,而薄膜的性能也会越好。此外,铬靶,****陶瓷靶材的致密度和强度能使靶材更好地承受溅射过程中的热应力。因此,铬靶厂家,****靶材的密度是制备陶瓷靶材的关键技术之一。在成型加工方法中预成型压力也是重要因素,靶材的预成形压力小,相应靶坯料的密度也小,这对靶材的烧结自然十分有利,靶材氧扩散好,相转变完全,靶材内部不易产生“夹芯”,但另一方面使靶材的机械强度降低,易发生*裂,不利于薄膜工艺使用.结合薄膜工艺、靶材应用活性和靶材加工实践考虑,一般情况下,靶材表观密度达理论密度控制在gt;55%~80%即可。粉末冶金法制造的靶材, 则****有可能含有一定数量的气孔。气孔的存在会导致溅射时产生不正常放电而产生杂质粒子,另外含有气孔的靶材在搬动、运输 、安装、操作时因其密度较低,也****易发生碎裂 。由采用真空熔炼方法制造的靶材可确保块材内部无气孔存在

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北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

溅射靶材原理: 以pld为例,因素主要有:靶材与基片的晶格匹配程度  镀膜氛围(低压气体氛围)  基片温度  激光器功率  脉冲频率  溅射时间  对于不同的溅射材料和基片,尽量参数需要实验确定,是各不相同的,镀膜设备的好坏主要在于能否准确控温,能否保证好的真空度,能否保证好的真空腔清洁度。

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