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溅射靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

磁控溅射原理:在被溅射的靶****(阴****)与阳****之间加一个正交磁场和电场,铂靶,在高真空室中充入所需要的惰性气体,磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。 磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。

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溅射靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。


靶*的物理解释

一般情况下,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶*后,铂靶厂,靶材表面都是金属化合物,在受到离子轰击之后,释放的二次电子数量增加,****了空间的导通能力,降低了等离子体阻*,导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400v-600v之间,当发生靶*时,溅射电压会显著降低。

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金属靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

半导体用超高纯金属溅射靶材和高纯金属溅射靶材有区别吗

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,铂靶供应商,亦可应用于玻璃镀膜领域,还可以应用于*材料、高温耐蚀、*用品等行业。

分类 根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶 根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材 根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等 根据应用领域分为微电*材、磁记录靶材、光碟靶材、*靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电****靶材、封装靶材、其他靶材。

原理:在被溅射的靶****(阴****)与阳****之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电*上加有一定的负高压,从靶****发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率*,在阴****附近形成高密度的等离子体,铂靶报价,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。

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北京石久高研金属材料有限公司
公司认证:
  • 公司地址:中国 北京市昌平区马池口镇上念头村北南路北侧国储金属材料交易市场B座商业楼222号
  • 注册资本:
  • 企业类型:
  • 主营行业:光学镀膜材料 , 合金靶材 , 二氧化钛 , 高纯材料 ,

联系方式

  • 联系人: 史永泰
  • 电话:010-89789198
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