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平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材。

平面靶材:planetarget溅射靶材根据形状可分为平面靶材,多弧靶材,旋转靶材。,例如:直径100*厚度40mm的铜靶材。平面靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接,在真空条件下溅射成膜层附着于基片上,再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工,以满足不同需要。

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