aerotec*深圳三轴运动平台_运动平台

多轴功能

ANT130-R系列的设计能够同Aerotech ANT直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供*精度，稳定性和小尺寸性能等特性。

多轴功能

ANT130-R系列的设计能够同Aerotech ANT直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供*精度，稳定性和小尺寸性能等特性。

如果您找不到适合的标准产品，AEROTECH可以为您定制运动零件和系统，其****技术和能力在业界是无二的。提供真空和无尘环境下的产品有悠久的历史，这使定制能力更进一步。

如果您找不到适合的标准产品，AEROTECH可以为您定制运动零件和系统，其****技术和能力在业界是无二的。提供真空和无尘环境下的产品有悠久的历史，这使定制能力更进一步。

ANT95-3-V 和 ANT130-5-V

纳米性能，具有 3 或 5 mm 的垂直行程

? 分辨率高 (1 nm)、重复性好 (±100 nm)

* (±200 nm)

? 入位稳定性 <1 nm

? 防蠕动交叉滚子轴承

? 高动态性能

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm